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金融界2024年12月25日动静,国度学问产权局新闻显示,青岛翼晨镭硕科技有限公司申请一项名为“周期性量子点加强型半导体可饱和罗致镜及其造备手腕”的专利,公然号CN 119171171 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本申请涉及一种周期性量子点加强型半导体可饱和罗致镜及其造备手腕。该手腕席卷:正在衬底上顺序成长布拉格反射层、缓冲层、量子点罗致层、盖层和掩膜层,正在掩膜层上平铺一层聚苯乙烯微球,通过刻蚀手腕安排聚苯乙烯微球的直径至预设目的直径,使其尺寸抵达须要的光栅周期,利用安排后的聚苯乙烯微球动作掩膜,对掩膜层举行刻蚀,将其刻蚀为周期性的二维光栅图案层,去除聚苯乙烯微球后,欺骗仍然变成的周期性二维光栅图案层动作掩膜,对量子点罗致层和盖层举行刻蚀,去除衬底上与光栅图案对应的个人,去除光栅图案机合层后,正在刻蚀后的盖层上浸积第一介质膜层,并正在缓冲层上浸积第二介质膜层,变成周期性纳米圆柱光栅层和介质膜光栅层。
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